光譜儀都是依據(jù)光譜線的原理而發(fā)明的，有些人提到X原子熒光和原子吸收光譜儀，從名字上來說就是兩種儀器，光譜儀的原理雖然都有些相似，但是其中一些小小區(qū)別就造成不同的應用與精度。

X原子熒光和原子吸收光譜儀的區(qū)別

1.原子吸收光譜儀

       原子吸收光譜儀利用待測元素所產(chǎn)生的基態(tài)原子對其特征譜線的吸收程度來進行定量分析的方法。原子吸收光譜儀的光源是空心陰極燈，檢測的樣品是溶液。

2.X射線熒光光譜儀

       X射線熒光光譜儀樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。發(fā)射源是Rh靶X光管，盡管二者都是把物質(zhì)激發(fā)后檢測其熒光，但二者的區(qū)別很大，從大的方面看主要有兩點：

       一、激發(fā)光源不同。原子熒光用的光源很多，如各種激光等，但很少見有用X-射線的；而X-射線熒光則是用X-射線作激發(fā)光源。

       二、用途不同。原熒主要用來作定量分析，尤其是金屬元素的定量分析；而X熒光主要用來作定性分析和結(jié)構(gòu)分析。當然二者的儀器構(gòu)造、使用方法、檢測范圍、樣品制備等等都不一樣。

       原子熒光光譜儀與原子吸收光譜儀的結(jié)構(gòu)與所用的部件基本相同, 差別在于：

       ① 為避免激發(fā)輻射進人檢測器影響原子熒光信號的檢測,原子熒光光譜儀的檢測器與激發(fā)光束不在同一直線上, 通常成直角配置;

       ② 原子吸收光譜分析是測量入射輻射光強與透射輻射光強的比值, 而原子熒光光譜分析是直接測量與交光激發(fā)光源強度成正比的原子熒光強度, 為

③獲得最大的輻照立體角, 許多原子熒光光譜儀不用分光部件。

       原子熒光光譜譜線相對簡單，元素間譜線重疊較少，所以原子熒光光譜儀的光路系統(tǒng)通常較為簡單，當采用蒸氣發(fā)生法時，只有能形成氫化物及形成原子蒸氣的元素進入原子化區(qū)，可以采用非色散系統(tǒng)，因此儀器的光學系統(tǒng)簡單、結(jié)構(gòu)緊湊，易于實現(xiàn)商品化和小型化。